SCR装置的工艺流程比较比较简单主要由供氨系统和SCR反应器系统2大部分构成。供氨系统的主要起到是将液氨通过加压、配套、冷却等方法变成氨气，再行通过氨空气混合后通过喷氨格栅喷入SCR反应器在催化剂的起到下，氨与烟气中的氮氧化物再次发生反应分解有毒有害的氮气和水。明确反应为：4NO+4NH3+O24N2+6H20。
该反应为气一固两互为催化反应，NO和NH3，在催化剂不存在下由以下7个步骤构成：(1)NO、NH3、02从气流主体蔓延到催化剂的外表面；(2)NO、NH3、02更进一步向催化剂的微孔内蔓延进来；(3)NO、NH3、02在催化剂的表面上被导电；(4)被导电的NO、NH3、02转化成反应的生成物；(5)H20和N从催化剂表面上脱附下来；(6)脱附下来的H20和N从微孔内向外扩散到催化剂外表面；(7)H20和N从催化剂外表面蔓延到主流气体中被拿走。 反应的前2个步骤主要是在催化剂表面展开的，催化剂的外表面积和微孔特性相当大程度上要求了催化剂反应活性，研究指出，前4个步骤速度较快．为SCR脱硝反应的掌控步骤。
根据搭配的催化剂类型有所不同，SCR反应器在锅炉尾部烟道的布置有3种方案： 1)低尘布置方式，将要反应器置放空气预热器之前。该方式应用于尤为普遍，其优点是转入反应器的烟气温度超过300～400℃，多数催化剂在这个温度范围内具备充足的活性，烟气不必须再行冷才可取得较好的脱硝效果。
但催化剂正处于低尘烟气中，催化剂的寿命不会受到一些影响，飞灰中的K、Na、Ca、As等微量元素不会使催化剂污染或中毒；飞灰磨损反应器并使蜂窝状催化剂阻塞；烟气温度过低不会使催化剂工件或过热。 2)较低粉尘布置方式，将要反应器置放高温电除尘器和空气预热器之间。
其优点是催化剂不不受飞灰的影响，缺点是除尘器在高温下运营的技术并不成熟期。尾部布置方式，将要反应器置放除尘器和烟气副产物系统之后。其优点是催化剂不不受烟气中SO等毒性气体的影响，但是，目前低温催化剂技术尚能不成熟期，一般只用换热器或者燃料自燃的方法将烟气温度提升到高温催化剂所必需的反应温度。 商业装置中，在长时间运营范围内，微量元素的污染程度是可以拒绝接受的，而且现在催化剂对于微量元素的抗污染能力也渐渐强化。
采行横向布置的反应器和吹灰措施也可以解决问题飞灰阻塞和催化剂生锈问题，因此大多数SCR反应器都使用第1种布置方式，这样就可以防止必须将烟气冷却到催化剂的最佳反应温度而减少了整个系统的热效率。
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